硅片甩干機(jī)的工作特點(diǎn)

更新時間：2016-08-18

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　　硅片甩干機(jī)用于清洗太陽能硅片和半導(dǎo)體硅片，是濕法清洗工藝的主要設(shè)備，目前主要機(jī)型由四工位，六工位和八工位系列。主要工作過程為噴淋旋轉(zhuǎn)沖洗+離心甩干+氮?dú)饧訜岷娓桑ぷ魈攸c(diǎn)如下：

　　1、硅片甩干機(jī)整個甩干過程一般只需要5-6分鐘；

　　2、設(shè)備的外露面為進(jìn)口的PP板，外形美觀，耐酸氣腐蝕；

　　3、工作腔，旋轉(zhuǎn)支架和裝片盒等主要部件采用耐腐蝕不銹鋼，并且表面電化學(xué)拋光處理；

　　4、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)經(jīng)過精密動平衡處理，保證工作時的平衡性；

　　5、采用特種減震器，精密減震和阻尼，保證系統(tǒng)的穩(wěn)定；

　　6、硅片甩干機(jī)采用潔凈化處理技術(shù)，閥門，接頭和管道采用不銹鋼，PEA高純管件和聚四氟；

　　7、采用油壓缸自動開門關(guān)門，平穩(wěn)安全可靠；

　　8、采用油浴爐或氣體加熱器加熱氮?dú)?，熱量足，溫度穩(wěn)定，加熱溫度實(shí)時監(jiān)控，并顯示在液晶屏上，并有雙重安全保護(hù)；

　　9、特制噴頭和氣液流體控制系統(tǒng)，全自動切換；

　　10、頂蓋采用電加熱板輔助加熱，保證頂蓋烘干后不滴水；

　　11、硅片甩干機(jī)的工作腔采用靜電控制。

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